Bu çalışmada, ince (~ 10 nm) Ag filmleri cam alttaşlar üzerine farklı
sürelerde DC magnetron püskürtme yöntemi ile kaplandı. Ayrıca Ag’nin cam
yüzeyine tutunması ve iletkenliğinin iyileştirilmesine destek olması hedefi ile
çok ince (~ 2 nm) Pt ara-katmanı cam yüzeyine püskürtülerek Ag/Pt/cam
numuneleri üretildi. Analiz sonuçlarından, hazırlanan her bir filmin kübik
yapıda, < 1 nm yüzey pürüzlülük değerine ve 5 ohm/kare’den daha düşük yüzey
direncine sahip olduğu belirlendi. Ag(9nm)/Pt(2nm)/cam numunesinin 3.02
ohm/kare’lik yüzey direnci ve 0.596 nm’lik RMS yüzey pürüzlülüğü değeri ile
diğer hazırlanan numunelere göre daha iyi elektriksel ve morfolojik özelliklere
sahip olduğu görüldü. Pt ara-katman oluşturulmasının Ag filminin iletkenliğini
artırması yanında kızılötesi yansıtıcılığını da artırdığı gözlendi.
Primary Language | Turkish |
---|---|
Subjects | Electrical Engineering |
Journal Section | Electrical and Electronics Engineering |
Authors | |
Publication Date | April 5, 2019 |
Submission Date | November 28, 2018 |
Published in Issue | Year 2019 |