Bu çalışmada, ince (~ 10 nm) Ag filmleri cam alttaşlar üzerine farklı
sürelerde DC magnetron püskürtme yöntemi ile kaplandı. Ayrıca Ag’nin cam
yüzeyine tutunması ve iletkenliğinin iyileştirilmesine destek olması hedefi ile
çok ince (~ 2 nm) Pt ara-katmanı cam yüzeyine püskürtülerek Ag/Pt/cam
numuneleri üretildi. Analiz sonuçlarından, hazırlanan her bir filmin kübik
yapıda, < 1 nm yüzey pürüzlülük değerine ve 5 ohm/kare’den daha düşük yüzey
direncine sahip olduğu belirlendi. Ag(9nm)/Pt(2nm)/cam numunesinin 3.02
ohm/kare’lik yüzey direnci ve 0.596 nm’lik RMS yüzey pürüzlülüğü değeri ile
diğer hazırlanan numunelere göre daha iyi elektriksel ve morfolojik özelliklere
sahip olduğu görüldü. Pt ara-katman oluşturulmasının Ag filminin iletkenliğini
artırması yanında kızılötesi yansıtıcılığını da artırdığı gözlendi.
İnce Ag Film Pt Ara-katman Cam Alttaş Kızılötesi Yansıtıcı Magnetron Püskürtme
Birincil Dil | Türkçe |
---|---|
Konular | Elektrik Mühendisliği |
Bölüm | Elektrik Elektronik Mühendisliği |
Yazarlar | |
Yayımlanma Tarihi | 5 Nisan 2019 |
Gönderilme Tarihi | 28 Kasım 2018 |
Yayımlandığı Sayı | Yıl 2019Cilt: 22 Sayı: 1 |